스캔 전자 현미경 (SEM) 은 전자 빔을 통해 샘플과 상호 작용하여 이미지를 형성하며 샘플의 전도성, 표면 평평도 및 청결도에 대한 요구가 높습니다.서로 다른 재료는 목적성 있게 처리해야 하며, 다음은 금속, 비금속 및 생물 샘플 세 방면에서 실용적인 기교를 제공한다.
금속 시료: 전도성과 표면 청결이 관건이다
금속 시료는 전도성이 좋지만 표면의 산화나 오염은 영상을 방해할 수 있다.처리 단계:
절단과 상감: 큰 금속 샘플에 대해 선으로 절단하거나 모래바퀴로 작은 덩어리로 절단하여 관찰하기 편리하다;아삭아삭한 금속 (예: 세라믹 금속) 은 차가운 상감 (예: 에폭시 수지) 으로 고정되어야합니다.
기계광택: 사포(400#~2000#)로 차례로 굵게 갈고, 산화알루미늄이나 금강석 광택 연고를 거울에 던져 표면의 긁힌 흔적을 줄인다.
세척: 초음파 세척은 5-10분 동안 광택 잔류를 제거하고 에탄올이나 아세톤으로 탈수하여 산화를 피한다.
전도성 처리 (옵션): 샘플의 전도성이 떨어지는 경우 (예: 고탄소강), 얇은 금 (5-10nm) 또는 탄소막을 도금하여 신호 수신을 강화할 수 있습니다.
비금속 시료: 전도성 및 안정성 강화
비금속 (예를 들어 도자기, 고분자) 은 전도성이 떨어지므로 하전효과를 중점적으로 해결해야 한다.처리 방법:
도금막: 표면에 도금, 백금 또는 탄소층(두께 2-20nm)을 분사하여 전도통로를 형성한다.
건조 처리: 생물 고분자 시료는 경도 탈수 (에탄올 또는 아세톤 계열), 재임계점 건조 (CO₂ 초임계 건조기) 가 수축 변형을 피해야 한다.
표면 전도성: 활성탄과 같은 다공성 재료에 대해 전도성 접착제나 은펄프를 담가 구멍을 채울 수 있다.
생체 시료: 구조와 전도성의 균형을 유지하다
생물 샘플 (예: 세포, 조직) 은 형태 보존과 전도성을 모두 고려해야 한다.핵심 단계:
고정: 아세트알데히드나 포름알데히드로 세포구조를 고정시켜 관찰시 변형을 방지한다.
탈수: 에탄올 또는 아세톤 경도 탈수(30%-100%), 단계당 10-15분.
임계점 건조: 표면 장력으로 인한 구조 함몰을 피하고 세포의 3차원 형태를 보존한다.
도금막: 얇은 금이나 백금층(2-5nm)을 도금하여 하전효과를 줄이고 표면의 디테일을 유지한다.
통용 건의: 모든 샘플을 제조한 후 고순도 질소로 말려 물때를 피해야 한다;도금하기 전에 샘플 표면의 청결을 확보해야 한다. 그렇지 않으면 도금층이 고르지 않으면 영상의 질에 영향을 줄 수 있다.맞춤형 처리를 통해 SEM 이미지 해상도를 크게 향상시키고 재료 분석, 생물 연구에 신뢰할 수 있는 데이터를 제공할 수 있다.