1. 계기명칭

중국어 이름:필드 발사 스캐닝 전자 현미경

영어 이름:현장 방출 스캔 전자 현미경

2. 모델:제이스 제미니 500

3. 생산업체:독일 체이스ZEISS는

4. 계기 소개：

제이스 Gemini 500스캔 전자 현미경은 전체 기능의 필드 발사 스캔 전자 현미경 (FE-SEM은), 고해상도, 높은 라이닝 및 높은 노이즈 비율로 2차 및 백산란 전자를 사용할 수 있음렌즈 내부까다로운 비전도 샘플에서도 선명한 이미지를 얻을 수 있으며, 다양한 샘플에 대한 라이닝 및 저전압 이미징이 가능합니다.브룩을 동시에 장착X방사선 분광기는 미구의 형상과 성분 분석에 광범위하게 응용할 수 있다.

5. 계기의 주요특징 및 기술지표:

1. 해상도:≤0.6의 nm@ 15KV(2차 전자), ≤1.1nm@1kV(2차 전자, 어떠한 특수 모드도 없음); ≤1.2nm@ 500V；

2. 배율 확대:20-2,000,000

,가속 전압과 작업 거리의 변화에 따라 증폭 배수가 자동으로 교정되며 낮은 배율과 높은 배율은 어떠한 모드 교체도 필요하지 않습니다.

3. 전자총: 쇼트키열장 발사전자총;

4. 가속 전압 또는 착륙 전압 범위:0.02kV의～30 kV, 스텝10V, 연속 조정 가능;

5. 프로브 전류: 최대 전류 ≤100nA의；

6. 콘택트렌즈 내부에 정전기 렌즈 설계가 있어철자성 재료고해상도 이미지 생성;

7. 최대 샘플 크기 ≥ 수용 가능200mm, 최대 샘플 높이 ≥60mm；

8. 5축 우량 중심 모터 구동 샘플대, 이동 최대 범위지표:X ≥130mm，Y는 ≥130mm，Z≥50mm, 양방향 기울기, 기울기 범위-3°-70°, 회전 ≥360°(연속 회전);

9. 샘플실에는 독립된 배산란 전자탐지기(EsB는）；

10. 샘플 실내 2차 전자 탐지기(SE）；

11. 렌즈 내 양광축에 장착 초고해상도렌즈2차 전자 탐지기 (인렌즈 SE）；

12. 공기 잠금 장치 (공기 잠금), 샘플 교체 진공 흡입 시간이 더 짧습니다.

13. 스펙트럼 ≥60 mm²활성 영역 면적

6. 계기의 주요기능 및 그 용도:

1. 재료과학(금속재료, 비금속재료, 나노재료, 유기재료), 화학과학, 야금, 생물학, 의학, 반도체 재료와 부품, 지질탐사, 형사정찰, 공업생산 등 분야에 대한 재료의 미시적인 형상관찰을 진행한다.(액체 시료는 충분히 건조한 후에야 테스트할 수 있다.)

2. 재료에 대한 실시간 마이크로 구역 성분 분석, 원소 정량, 정성 성분 분석, 신속한 다원 소면 스캐닝과 점, 선 스캐닝 분포 측정을 진행한다.

7. 계기 사진

8. 인스턴스 적용

1. 형태 분석:

모 과제팀은 금속은나노구조를 제조하는데 그 미시적형상구조를 관찰하여 이 은나노재료가 촉매분야에서 량호한 응용전망을 갖고있음을 검증해야 한다.우리는 부동한 확대배수, 부동한 스캔모식 및 에네르기테스트를 채용하여 이 견본에 대해 테스트를 진행했는데 그 결과는 다음과 같다.

1.1 서로 다른 확대 배수 관찰

1.2 다른 스캔 모드에서 관찰

2. EDS요소 정성 분석:

2.1점 스캔

2.2 선 스캔

2.3 면 스캔

주: 글은 제로공업대학 재료과학과 공학부 ≪ZEISS G500 초고해상도 스캔 전자 현미경》。