박막 제작 공정에서 일부 금속 유기화합물 (MOCs는), 수소, 암모니아 등 전구체의 증기압은 표준 대기압보다 훨씬 낮다(760개), 상온에서는 증발하기 어렵다.이 전구체들은 화학 기상 퇴적에 수송되어야 한다(CVD)반응기에서 전통적인 방법은 용제를 사용하는 것이다/용질 화학과 액체 수송.일부 고체 전구체는 용해도 제한이 있어 공정 캐비티로 수송되는 최대 질량 유량에 영향을 준다.

우리는 선진적인 압력측정과 제어기술을 채용하여 고체전구체증기의 수송을 직접 통제할수 있으며 용제를 사용할 필요가 없어 정확하고 중복가능한 수송을 실현하여 박막재료제조를 더욱 능률적으로 할수 있다.

저증기압 컨트롤러는 다양한 영역에서 트래픽 범위에 대한 요구를 충족하는 강력한CPU, 넓은 범위의 스마트 트래픽 제어를 실현할 수 있으며, 제어 범위는 전체 범위의10%~100%。

이 저증기압 컨트롤러는30℃~200℃의 작동 온도 범위 내에서 안정적인 측정 제어를 유지하여 열악한 환경에 적용합니다.채택Modbus는프로토콜 (RS485/232의), 데이터 통신 및 원격 제어를 위해 컴퓨터 또는 기타 장치에 쉽게 연결할 수 있습니다.

반도체의 집적회로 제조, 태양광 박막 태양전지, 신소재 연구개발, 의료기기 바이오센서 등 많은 업종에 광범위하게 응용되는 박막 제작 공정은 관건적인 박막 공정을 통해 각 업종에 고품질 박막 재료를 생산할 수 있도록 능력을 부여한다.

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