JK-VYP50는고온 소형 진공 열전압기

키워드: 진공열압,50mmx50mm,박막 전이

JK-VYP50는고온 소형 진공 열전압기웨이퍼의 용접 또는 박막 이동을 위해 처리 가능한 최대 샘플 크기는 50mmx50mmx15mm의 소형화된 평면 진공 열전압기입니다.장비의 성능은 3세대 반도체 부품의 소결 결합 연구에 매우 적합하며, 기기의 최고 작동 온도는 500℃, 최대 압력은 5000N이다. 반도체 부품 제조 과정 중의 패키징 커넥티드 재료의 패키징 커넥티드 공정에 필요하며, 제공 가능한 진공과 분위기 환경은 가능한 한 재료의 산화를 줄일 수 있으며, 성비 실험실 연구 개발 장비이다.

(1) 기술매개변수:

1, 최대 압력:500Kg (5000N) (500)℃ 온도 상태에서）

2. 진공도 <5*10E-2 torr(냉상태에서 진공펌프는 30min 추출)

3. 압력 표시 범위: 1-500kg

4, 항압 시간 설정 범위: 1-9999min (조정 가능)

5, 프레스 벨트 수동 및 자동 작업 모드

6. 상하 가열 플랫폼은 모두 진공 챔버 안에 설치된다;

7. 상하 가열 플랫폼의 냉태에서의 평면도는 ≤0.005mm이다

8、두 조각50mm x 50mm 가열 플랫폼으로 내열 스테인리스강으로 제작되었으며 최고 500 ℃ (<30min) 의 온도를 견딜 수 있습니다.

9. 샘플에 넣을 수 있는 최대 사이즈는 50 * 50 * 15mm입니다.

10、설정 가능30단 온도 조절 프로그램, 온도 조절 정밀도 +/1 ℃

11、연속 작동 온도:450℃

12, 가장 빠른 온도 상승 속도:10℃/분

13, 총 전력:500W

14、 전원 공급 장치:208 - 240VAC, 50/60Hz 단상

15, 냉각 방식:수냉

16、호스트:200mm (L) x 130mm (W) x 700mm (H)

17, 컨트롤러:340 * 300 * 140mm