1. 진공 누출
현상: 진공도가 설정치에 도달하지 못하거나 지속적으로 떨어진다.
이유:
밀봉 코일이 노화되거나 갈라지거나 잘못 설치되었다.
파이프라인 연결이 느슨해지거나 미세한 균열이 있습니다.
진공실 벽에 바늘구멍이나 용접 결함이 있다.
해결:
정기적으로 씰링을 점검하고 6-12개월마다 교체한다.
헬륨 질량 스펙트럼 누출 검사기를 사용하여 누출점을 위치시키고, 복구 후 다시 누출을 검사해야 한다.
진공실에 대한 압력 테스트를 진행하다.
2. 막층 탈락
현상: 도금 후 막층과 기저가 분리되거나 조각으로 벗겨진다.
이유:
기저 표면 오염.
도금 전에 충분히 굽지 않았다.
막층의 응력이 너무 크다.
해결:
기저 세척을 강화하다.
이온원을 설치하여 도금 전 폭격 청결을 진행하다.
프로세스 매개변수를 최적화합니다.
3. 진공펌프 작동 불가
현상: 시동 버튼을 누른 후 펌프체가 반응하지 않습니다.
이유:
전원 장애 (전압 불안정, 회로 단락).
모터 손상 또는 과열 보호 트리거
펌프 내의 기름이 오염되거나 기름 위치가 부족하다.
해결:
전원 회로 및 전압 안정성을 확인합니다.
모터를 교체하거나 펌프의 냉각을 기다린 후 재부팅하십시오.
정기적으로 진공유를 교체하여 기름 위치를 눈금선 이상으로 유지하다.
4. 진공도가 갑자기 떨어진다
현상: 운행 중 진공도가 급강하하여 공정 요구를 유지할 수 없습니다.
이유:
펌프 고장.
진공실 내부 오염.
냉각수 유량 부족으로 펌프체가 과열되다.
해결:
매년 확산 펌프를 세척하고 전용 오일을 교체한다.
定期清理真空室。
냉각수 회로를 점검하여 유량 ≥ 5L/min을 확보한다.
5. 퇴적재가 고르지 않다
현상: 막층의 두께나 성분이 기저에 분포되어 일치하지 않는다.
이유:
침적원 오프셋이나 도가니 회전 속도가 불안정합니다.
베이스가 고정되어 있지 않거나 가려져 있습니다.
자기장 / 전장 간섭으로 빔이 편전되다.
해결:
퇴적원 위치를 조정하여 기저 중심과 정렬되도록 합니다.
작업복 클램프를 사용하여 기저를 고정시켜 가리지 않도록 한다.
전자기 코일 매개변수를 검사하여 번들 경로를 최적화합니다.
6. 박막 두께 제어 실효
현상: 실제 필름 두께와 설정치의 편차가 ±5% 를 초과한다.
이유:
결정 제어기 (막 두께기) 의 교정이 효력을 잃다.
프로브 위치가 오프셋되거나 오염되었습니다.
공정 매개변수 변동 (예: 불안정한 증발 속도)
해결:
분기마다 표준 필름 두꺼운 필름으로 결정 제어기를 교정한다.
프로브 표면을 청소하고 베이스에서 5-10cm 떨어진 곳으로 조정합니다.
전원 전압을 안정시켜 증발 과정 중 파라미터의 돌연변이를 피한다.
7.가스 오염으로 인한 막질 저하
현상: 막층에 바늘구멍, 색반이 생기거나 부착력이 떨어진다.
이유:
진공실 미철-저배기 (잔류 수증기, 산소).
도금 과정 중에 공기가 새다.
필름 재료는 습기를 흡수하거나 불순물을 함유하고 있다.
해결:
도금하기 전에 ≤ 5 × 10 ⁻Pa까지 진공을 뽑고 구워 공기를 제거한다.
모든 밀봉 인터페이스를 검사하고 노후화된 밀봉 부품을 교체하십시오.
필름 재료를 사용하기 전에 진공실에서 미리 용해하여 가스를 제거해야 한다.
8. 가열 시스템 고장
현상: 기저온도가 설정치에 도달하지 못하거나 파동이 너무 크다.
이유:
가열 컴포넌트의 회로 차단 또는 접촉 불량.
온도 조절기 PID 매개변수가 잘못 설정되었습니다.
열전지 위치 오프셋 또는 손상.
해결:
가열사 연결을 확인하고 차단 부품을 교체합니다.
온도 조절기 파라미터를 다시 정정하다.
열전지를 기저 중심 위치로 조정하여 매년 한 번 교정한다.
9. 전자 제어 시스템 고장
현상: 작업 패널에 응답이 없거나 매개변수에 예외가 표시됩니다.
이유:
대시보드에 습기가 차거나 먼지가 쌓입니다.
센서 연결이 느슨하거나 손상되었습니다.
소프트웨어 프로그램이 충돌했습니다.
해결:
정기적으로 건조한 압축공기로 컨트롤 캐비닛을 청소한다.
센서 회선을 확인하고 고장난 부품을 교체합니다.
시스템을 재부팅하거나 제어 소프트웨어를 다시 설치합니다.
10. 필라멘트/빔 시스템 이상
현상: 무속류 출력 또는 속류 파동이 크다.
이유:
필라멘트가 타거나 노화되다.
빔 흐름 제한기가 0이 되지 않았거나 전위기 고장이 났다.
고압 전극 보호 커버 단락.
해결:
새 필라멘트를 교체하고 설치할 때 위치를 가운데로 확보합니다.
미리 녹인 후 빔 흐름 제한기를 0으로 돌려 다시 시작합니다.
보호막 절연성 확인하고 합선점 정리.