반도체 심자외선 광각 공정에서 NH, HCL, HF 등 흔적급 AMC 공기 분자 오염물은 제품 품질의"스텔스 킬러"라고 할 수 있다. 화학 증폭 광각 접착제와의 반응은 반도체 부품의 성능에 직접적인 영향을 줄 수 있다. 그러나 전통적인 모니터링 방법은 조작이 복잡하고 음향이 느리며 정밀도가 부족하여 업계의 실시간 정확한 모니터링 수요를 만족시키기 어렵다.이런 맥락에서 듀크텍은 오리온 3100S AMC 공기 분자 오염물 모니터링 시스템을 출시하여 업계 문제점을 기술적으로 돌파하고 반도체 클린룸 모니터링에 솔루션을 제공한다.

반도체 업계를 위해 특별히 제작된 모니터링 장비로서 오리온 3100S AMC 공기 분자 오염물 모니터링 시스템의 핵심 장점은 CEAS (캐비티 강화 흡수 스펙트럼) 기술에서 비롯된다.이 시스템은 전통적인 충돌 여과기, 이온 크로마토그래프 등 간접 측정법 및 CRDS 기술에 비해 레이저 빔을 엄격히 조준할 필요가 없으며, 설치가 간편하고 기계적 안정성이 강하여 흔적급 오염물을 신속하고 정확하게 포착할 수 있다.그 검측 정밀도는 업계 수준에 도달하여 HCl, HF 검측 한도는 0.1ppb로 낮고, NH 검측 한도는 0.1ppb보다 작으며, sub-ppb급 실시간 측정을 실현하는 동시에 대기 중 수증기, CO₂, O₂ 등 성분의 교차 교란을 효과적으로 회피하여 데이터의 정확성과 신뢰성을 확보한다.

시스템은 기능 설계에서 반도체 생산 장면에 충분히 적합하고 다차원 핵심 경쟁력을 갖추고 있다.응답 속도가 매우 빠르며, 각 채널은 5초 만에 테스트를 완료할 수 있으며, 1-64 채널의 유연한 구성과 함께 넓은 측정 영역을 커버하여 다중 가스 고감도 응답 요구를 충족시킬 수 있습니다.대량의 데이터 저장 및 다중 인터페이스 출력을 지원하는 Linux 시스템 컴퓨터가 내장되어 있으며, 이더넷, RS485/RS232 또는 4-20mA 아날로그 모듈을 통해 4~6대의 분석기 데이터를 통합할 수 있다.전용 DUKE HMI 소프트웨어는 다중 샘플링 제어, 실시간 데이터 곡선 표시, 경보, 역사 추세 분석 등 기능을 통합하여 원격 네트워크 제어를 더욱 지원하며, 사용자는 브라우저를 이용하여 임의의 네트워크 장소에서 다중 권한 조작을 실현할 수 있으며, 듀크텍 본사나 서비스 업체에 연결하여 원격 진단을 진행할 수 있다.

또한 오리온 3100S AMC 공기 분자 오염 물질 모니터링 시스템은 편리하고 경제적입니다.310 스테인리스강 이동식 캐비닛을 사용하여 플러그 앤 플레이 방식으로 몇 분 이내에 클린룸 배포를 완료할 수 있습니다.시약, 방사능 등 소모품 소모가 없고, 고체 전자 부품은 이동식 부품이 없으며, 유지 보수 원가가 매우 낮고 유지 보수 기간이 길지 않다.시스템은 또한 독립적으로 프로그래밍 가능한 경보, 계전기 설치, 전원 차단 데이터 분실 없음, 80미터 초장거리 파이프라인 샘플링 등 우세를 갖추고 있으며, 개방된 통신 프로토콜은 2차 개발과 통합에 더욱 편리하고 반도체 업계의 까다로운 생산 요구에 적합하다.

이 시스템의 출시는 반도체 부품의 임피던스 일관성을 효과적으로 향상시키고 필터의 사용 수명을 연장하며 생산 중단 시간을 줄일 수 있을 뿐만 아니라 과학 기술 능력으로 업계의 청정 생산 수준 업그레이드를 추진할 수 있다.듀크텍은 다년간의 반도체 업계 경험을 바탕으로 기술과 친절한 서비스로 반도체 기업에 신뢰할 수 있는 AMC 모니터링을 보장한다.