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이메일
huijuan_sun@bct-tech.com
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전화
18610719775
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주소
북경시 순의구 공항공업B구 안경거리 6호원 1호동
솔루션
Beijing Boside Technology Co., Ltd
시나리오 개요
인공지능과 고효율 연산 수요의 추진하에 4세대 반도체 재료와 코어 입자 기술의 발전 하에 칩 선폭은 이미 70nm에서 7nm 이하 시대로 빠르게 진입하였다.30nm 이하의 생산 과정에서 흔적 기체 상태 분자 오염물 (AMC) 검사의 중요성은 매우 중요한 높이로 상승했다.
AMC 모니터링의 흔적 정밀화, 모니터링 전면화, 빅데이터 자동 분석화, AI 지능 관리화 이념의 도입은 AMC로 인한 양률 충격을 낮추는 데 매우 중요한 역할을 한다.
베이징 보사이드 과학기술유한공사가 자체 연구 개발 생산한 BCT-AMC 시리즈, 반도체 공정 환경 모니터링 시스템, 온라인 모니터링, 실험실 분석, 기계 현장 추적 분석 등 여러 장면을 포함하는, 더 많은 유기물 종의 정확한 전체 정량 분석, 분석 과정의 높은 자동화와 집적화, 전용 AMC 오염 데이터베이스와 처리 방안 라이브러리와 협력하여 AI 기술의 추가 하에 진정으로 제품 관리부와 미세 오염 통제부의 확실한 문제를 해결한다.
일반적인 장면
1. 제조 지점 - 온라인 자동화 AMC(VOCs) 정밀 분석 시스템
생산 모니터링 지점 배치 온라인 모니터링:
• 초순수 PFA 샘플링 튜브를 사용하여 공장 구역 배치, 모니터링 범위 35000m2~75000m2
• 자동 샘플링, 농축, GC-MS 분석, 클라우드 스토리지, AI가 자동으로 감지 보고서를 생성하고 초임계 경보 기능 포함
• 7 × 24시간 스케줄링 자동화 모니터링
• 잔류 및 흡착을 방지하기 위한 전체 프로세스 전체 부품 타성화 코팅
• 전용 캡처 시스템 및 포커스 시스템으로 체크 아웃을 대폭 향상시키고 피크
2. 의심점 - 실험실 AMC(VOCs) 정밀 분석 시스템
의심점 수동 샘플링 실험실 분석:
• 시스템은 실험실에 사용되며, 포집 능력이 강하고, 불순물 제거 능력이 강하며, 흡착 방지 능력이 강하고, 샘플링 정확도가 높으며, 각 가스 도로 전용, 전 과정 무냉점, 세척 매우 깨끗한 등의 특징을 바탕으로 공동 작용하여 더욱 낮은 검출 제한을 얻는다
• 미지의 성분 분석 정량: 샘플에 대한 물질 전체 분석 가능
• 반도체 기업을 위한 AMC(VOCs) 물질 검출 방법 패키지
• 검출 시효성 강: 오염물질을 신속하게 정성하여 AMC(VOCs) 오염원천을 적시에 발굴
웨이퍼 석영 가열로, 가열 휘발 샘플:
• 반도체 기업을 위한 AMC(VOCs) 물질 검출 방법 패키지
• 검출 시효성 강: 오염물질을 신속하게 정성하여 AMC(VOCs) 오염원천을 적시에 발굴
3. 워크스테이션 - 휴대용 AMC(VOCs) 정밀 분석 시스템
작업대 - 오염 추적 분석:
• 신속한 분석
단질량 스펙트럼 항해 모드, 계기는 크로마토그래프 기둥을 거치지 않고 직접 질량 스펙트럼에 진입하며, 초급 분석, 실시간 데이터 발급.
• 높은 감도
목적성 소원, 민감도 더 높음: 단일 질량 스펙트럼 모드, 초급 응답, 실시간 동적 표시 오염 상황, 필요 시 이온을 선별하여 SIM 모드를 사용하여 목적성 항해를 전개할 수 있다.
필름 샘플링 기술은 샘플이 질량 스펙트럼에 들어가기 전에 2차 부집을 진행할 수 있게 하여 민감도를 높인다
• 추적 정확성
새로운 취항 모드, 작업장 깊숙이 들어가 원천을 직접 가리킨다
전통적인 항행설비에 비해 품질이 더욱 가볍고 내진성이 더욱 강하여 전통적인 항행의 기초에서 진일보 작업장에 진입하여 오염발생공예지점으로 정확하게 추적하여 기업이 오염점의 정비를 실현하도록 도와줄수 있다.
• 정확한 결과
이중 작업 모드: 이동 모드 + GC-MS 좌표 분석 모드
70eV EI 소스 + 4단 막대 질량 스펙트럼 정성 정량을 사용하여 공기 중의 VOCs를 충분히 이온화하고 표준 NIST 스펙트럼 라이브러리에 의탁하여 정확하게 정성한다;국가 표준이 추가되어 결과는 실험실과 비교할 수 있다.
• 강력한 환경 적용
비기계식 펌프 진공 시스템으로 환경 적합성 향상
고속회전부품을 버리고 비기계진공펌프를 채용하여 다차원대폭진동에서 운행검측할수 없는 등 문제를 해결해야 한다.
데이터 결과 및 검사 스펙트럼
반도체 공정 공장 구역과 설비 환경 AMC 모니터링 솔루션 소개가 끝났습니다. 더 많은 정보를 알고 싶으시면 저희에게 연락 주십시오!