극자외선 빔 전송 시스템은?연상?광원(DCLS) 광원 기술의 핵심 시스템은?, 주요?우장은 진공에서 중산할 것인가?비어 있을 수 없음? 에서 전송되는 극자외선 빔?실험 연구로 효율적으로 전송?역을 하다.스펙트럼 기기는 이 빔 전송 시스템의 광학 설계를 인수하고 완성하였는데,?설계, 온라인 설치 및 통합 테스트?예, 광대역 디버깅 결과 일치예상 지표 요구사항이 순조롭게 교부되어 투자되었습니까?사?