제품 적용:

반도체 앞부분 단결정 실리콘 제작 과정 중 실리콘 조각 및 웨이퍼 박스의 보관에 적합하며, 실리콘 조각의 입자 반출, 안개 반출 현상을 방지한다;일반적인 건조 저장 캐비닛이나 질소 캐비닛은 모두 완전히 폐쇄된 환경으로 설계되어 있고 자정 기능이 없기 때문에 내부에 대량의 먼지가 쌓이기 쉬우며, 이러한 먼지는 저장 제품에 달라붙을 가능성이 매우 높다.청결장은 먼지 오염을 피해야 하는 물품을 보관하기에 적합하다.

제품 특징:

★ 4인치 하이라이트 디지털 튜브 디스플레이, 가시거리 30미터, 질소 가스 절약 제어 시스템 추가 가능, 경보 시스템 추가 가능。

★ 무진풍기 - 수입 무진실 전용 FFU풍기, 알루미늄 아연도금판 재질, 알루미늄합금 휠, 풍속 0.3-0.45m/s, 소음<=55dB。

★ 양면 보호망 고효율 필터 - 필터 효율이 99.99% @ 0.3um 높다.

★ 모듈식 설계，온습도 모니터, 제어 시스템, 먼지 제거 시스템 및 정전기 제거 시스템은 모두 빠르게 교체할 수 있으며, 정비 및 수리가 간편하여 유지 보수 효율을 크게 향상시킬 수 있다.

기술 매개 변수:

소재：이중 거울면304스테인리스강

외부 치수:1300W*1836H*800Dmm

내부 치수:1253W * 1110H * 650Dmm

제습 등급: 상대 습도 도달 가능5%Rh이하 (질소 충전 배합)

청결 레벨:ISO 클래스 2(100단계)ISO 클래스 3(킬로 레벨)

습도 표시 범위:0.1%RH-99.9%RH

습도 표시 범위:-40℃-70.0℃（-9.9℃다음은 소수점 없음)

온도 및 습도 모니터 정밀도: 상대 습도±3%Rh, 온도±1℃