작동 원리

고순도 아르곤 분석 크로마토그래프는 기상 크로마토그래프 분리 기술을 기반으로 고순도 아르곤 가스 중 미량 불순물의 물리 화학 성질 차이를 측정하여 정량 분석을 실현한다.핵심 프로세스는 다음과 같습니다.

샘플 도입: 고순도 아르곤 샘플 경입 샘플 시스템 (예: 6통 밸브) 정량 주입 크로마토그래프, 크로마토그래프 기둥에 진입.

성분분리: 크로마토그래피 기둥은 특정 고정상 (예: 분자체, 산화알루미늄 복합재료) 을 채우고 불순물 성분 (예: H, O, N, CH, CO, CO) 의 비등점, 극성 또는 흡착성 차이를 이용하여 가스 적재 (초고순수 아르곤) 의 추진하에 분리를 실현한다.

검측과 정량: 분리된 조분은 차례대로 검측기에 들어가 전신번호로 전환된다.예를 들어, 아르곤 이온화 검출기 (AID) 는 이온화 전류 변화를 통해 불순물 농도를 검출하며, 그 민감도는 0.05ppm (질소계) 에 달한다;고주파 아르곤 방전 검출기 (HFADD) 는 불순물 분자를 이용하여 호광의 흡수 또는 증강 효과를 정량 분석한다.

주요 구성 요소 해결

가스 공급 시스템: 고순도 아르곤 가스병, 감압 밸브 및 가스 유량 컨트롤러를 포함하여 가스 적재 순도 (≥ 99.999%) 와 유량 안정성 (± 0.1%) 을 확보하고 배경 방해를 피한다.

크로마토그래피 기둥: 스테인리스강이나 석영과 같은 고온, 저흡착성 재료를 사용하여 고선택성 고정상을 채우고 복잡한 불순물 행렬의 고효율 분리를 실현한다.

검출기:

아르곤 이온화 검출기 (AID): 고압 전장을 통해 아르곤 가스를 이온화하고 불순물 이온화 전류 변화를 감지하여 ppm에서 ppb급 흔적 분석에 적용됩니다.

고주파 아르곤 방전 검출기 (HFADD): 고주파 전자장을 이용하여 아르곤 가스 방전을 자극하고, 불순물 분자의 아크 광선에 대한 담금질 또는 증강 효과를 통해 정량을 실현하며, 감도는 30ppb (CH ₄로 계산) 에 달한다.

제어 시스템: 통합 온도 제어 (정밀도 ± 0.1 ℃), 프로그램 온도 상승 (속도 0.1-50 ℃/min) 및 다중 밸브 전환 기능, 복잡한 분석 프로세스 자동화를 지원합니다.

데이터 처리 시스템: 크로마토그래프 워크스테이션을 통해 실시간으로 신호를 수집, 처리하여 크로마토그래프를 생성하고 불순물 농도를 계산하여 여러 조의 동시 분석을 지원한다.